中微公司获得发明专利授权:“一种半导体处理设备及其固态前驱体输送系统和输送方法”
作者:小微
发表于:2025年03月19日
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体处理设备及其固态前驱体输送系统和输送方法”,专利申请号为CN202411947571.6,授权日为2025年3月18日。
专利摘要:一种半导体处理设备及其固态前驱体输送系统和输送方法,固态前驱体输送系统包含固态前驱体源,惰性气体源和控温模块,控温模块包含设置在加热箱中的储气罐,先往储气罐中预充惰性气体,再往储气罐中充入气态前驱体,接着往储气罐中继续充入惰性气体,使储气罐中的气态前驱体和惰性气体的混合比例达到预定比例,最后将混合气体输送至半导体处理设备的处理腔中。通过三段式充压将气体前驱体和惰性气体混合,可以精确控制气态前驱体的输送量,利用惰性气体稀释气态前驱体,能够有效防止气态前驱体发生冷凝,还能够大幅降低加热箱的温度,防止位于加热箱中的阀门和压力计等器件遭到高温损坏,同时防止气态前驱体在高温下腐蚀管道内壁造成颗粒污染。
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今年以来中微公司新获得专利授权37个,较去年同期增加了8.82%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元,同比增94.58%。
数据来源:天眼查APP
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